摘要 |
Eine Druck- oder Kraftsensorstruktur (10) umfasst eine Membran (12) und eine Gegenstruktur (14), wobei auf der Membran (12) und der Gegenstruktur (14) jeweils Elektroden (18a-c, 20a-c) zur Festlegung von Kondensatoren (18, 20) vorgesehen sind. Zur Festlegung einer erwünschten Druck/Kapazitäts-Abhängigkeit bzw. einer erwünschten Kraft/Kapazitäts-Abhängigkeit werden wenigstens zwei der Kondensatoren (18, 20) seriell oder parallel geschaltet. Vorzugsweise ist die Gegenstruktur feststehend und umfasst eine Vielzahl von kreissegmentförmigen Elektrodenflächen, um durch Optimierung erhaltene Elektrodenflächen mittels Serien- oder Parallelschaltung zusammenzubauen. Vorzugsweise kann die Zusammenschaltung der einzelnen Elementarkondensatoren mittels eines Mehrschichtaufbaus realisiert werden. In diesem Falle kann für jede erwünschte Druck/Kapazitäts- oder Kraft/Kapazitäts-Abhängigkeit dieselbe Membran (12) und eine identische Auswerteschaltung eingesetzt werden, wobei lediglich der Mehrschichtaufbau für eine andere Abhängigkeit verändert werden muss. Die Elektrodenstrukturen lassen sich vorzugsweise mit wenigen Angaben, wie z.B. Länge, Breite, Abstand bzw. Winkel, Radius definieren.
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