发明名称 CAPACITIVE PRESSURE OR FORCE SENSOR STRUCTURE AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME
摘要 Eine Druck- oder Kraftsensorstruktur (10) umfasst eine Membran (12) und eine Gegenstruktur (14), wobei auf der Membran (12) und der Gegenstruktur (14) jeweils Elektroden (18a-c, 20a-c) zur Festlegung von Kondensatoren (18, 20) vorgesehen sind. Zur Festlegung einer erwünschten Druck/Kapazitäts-Abhängigkeit bzw. einer erwünschten Kraft/Kapazitäts-Abhängigkeit werden wenigstens zwei der Kondensatoren (18, 20) seriell oder parallel geschaltet. Vorzugsweise ist die Gegenstruktur feststehend und umfasst eine Vielzahl von kreissegmentförmigen Elektrodenflächen, um durch Optimierung erhaltene Elektrodenflächen mittels Serien- oder Parallelschaltung zusammenzubauen. Vorzugsweise kann die Zusammenschaltung der einzelnen Elementarkondensatoren mittels eines Mehrschichtaufbaus realisiert werden. In diesem Falle kann für jede erwünschte Druck/Kapazitäts- oder Kraft/Kapazitäts-Abhängigkeit dieselbe Membran (12) und eine identische Auswerteschaltung eingesetzt werden, wobei lediglich der Mehrschichtaufbau für eine andere Abhängigkeit verändert werden muss. Die Elektrodenstrukturen lassen sich vorzugsweise mit wenigen Angaben, wie z.B. Länge, Breite, Abstand bzw. Winkel, Radius definieren.
申请公布号 WO9953286(A1) 申请公布日期 1999.10.21
申请号 WO1999EP02431 申请日期 1999.04.09
申请人 PLOECHINGER, HEINZ 发明人 PLOECHINGER, HEINZ
分类号 G01L1/14;G01L9/00;(IPC1-7):G01L9/00 主分类号 G01L1/14
代理机构 代理人
主权项
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