Vorrichtung zur gleichzeitigen Halterung einer Vielzahl von Substraten,申请号DE19924230872-传众专利搜索

发明名称	Vorrichtung zur gleichzeitigen Halterung einer Vielzahl von Substraten
摘要
申请公布号	DE4230872(C2)	申请公布日期	1999.10.21
申请号	DE19924230872	申请日期	1992.09.16
申请人	BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG	发明人	BODEN, THOMAS;SCHNEIDER, DIETMAR
分类号	C23C14/04;C23C14/50;H01L21/673;(IPC1-7):C23C14/50;H01J37/20	主分类号	C23C14/04
代理机构		代理人
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