METHOD FOR PRODUCING SMALL AND MICRO-SIZED CERAMIC PARTS

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Klein- und Mikroteilen aus Keramik durch Lithographie. Aufgabe der Erfindung ist es, das Verfahren so auszugestalten, dass keramische Strukturen mit grosser thermischer und mechanischer Stabilität erzeugt werden können. Gelöst wird diese Aufgabe durch Aufbringen eines präkeramischen, siliziumhaltigen Polymers auf ein hochtemperaturfestes Substrat und anschliessender Trocknung bei Raumtemperatur, Bildhafte Belichtung des mit dem präkeramischen Polymer beschichteten Substrats mit elektromagnetischer Strahlung (Wellenlänge < 400 nm), Entwicklung des belichteten Filmes in einem organischen Lösungsmittel, Pyrolyse bei einer Temperatur über 900 DEG C und anschliessende Sinterung des entwickelten Kunststofffilmes zu einem formstabilen dreidimensionalen Formkörper bei einer Temperatur über 1600 DEG C.