| 发明名称 |
SOCKET FOR ENVIRONMENTAL TEST, ENVIRONMENTAL TEST APPARATUS AND SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11289035(A) |
申请公布日期 |
1999.10.19 |
| 申请号 |
JP19980091468 |
申请日期 |
1998.04.03 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SHIBAMOTO MASAKUNI;ARIMA HIDEO;YAMAMOTO KENICHI;HASEBE AKIO;MORINAGA KENICHIRO |
| 分类号 |
G01R31/26;H01L21/66;H01L23/32;H01R33/76;(IPC1-7):H01L23/32 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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