发明名称 INTERFEROMETER
摘要
申请公布号 JPH11287612(A) 申请公布日期 1999.10.19
申请号 JP19980091734 申请日期 1998.04.03
申请人 NIKON CORP 发明人 MIZOROKE SHIGEO;ICHIKAWA HAJIME
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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