| 发明名称 |
FORMATION OF FILM AND FILM FORMING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11286781(A) |
申请公布日期 |
1999.10.19 |
| 申请号 |
JP19980090224 |
申请日期 |
1998.04.02 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
MIKAMI TAKASHI;MURAKAMI HIROSHI |
| 分类号 |
C23C14/32;C23C16/48;C23C16/50;C23C16/505;C23C16/513;H01J37/317;H01J37/32;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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