发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH11288920(A) 申请公布日期 1999.10.19
申请号 JP19980092115 申请日期 1998.04.03
申请人 NEC CORP 发明人 YOSHIDA KAZUYOSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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