| 发明名称 |
GRINDING WHEEL HOLDING STRUCTURE AND POLISHING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11285978(A) |
申请公布日期 |
1999.10.19 |
| 申请号 |
JP19980091423 |
申请日期 |
1998.04.03 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
MATSUO NAONORI;HIYAMA HIROKUNI;WADA TAKETAKA;HIROKAWA KAZUTO |
| 分类号 |
B24B7/00;B24D7/06;B24D7/18;H01L21/304;(IPC1-7):B24D7/18 |
主分类号 |
B24B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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