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发明名称 SEMICONDUCTOR VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11288887(A) 申请公布日期 1999.10.19
申请号 JP19980088559 申请日期 1998.04.01
申请人 HITACHI LTD;KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 INOUE HIRONORI;SUZUKI TAKAYA;MIYAUCHI AKIHIRO;SAKURAI YOSHIHIKO;MISE NOBUYUKI;WATANABE TOMOJI;IKEDA FUMIHIDE
分类号 C23C16/46;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
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