发明名称 SUBSTRATE TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11286782(A) 申请公布日期 1999.10.19
申请号 JP19980090307 申请日期 1998.04.02
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 OISHI MAMORU;NAKATANI KAZUO
分类号 C23C16/52;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/52 主分类号 C23C16/52
代理机构 代理人
主权项
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