| 发明名称 |
NEW ORGANIC TITANIUM COMPOUND SUITABLE FOR MOCVD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11286494(A) |
申请公布日期 |
1999.10.19 |
| 申请号 |
JP19980059581 |
申请日期 |
1998.03.11 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
SAI ATSUSHI;TACHIBANA TAIJI;UCHIDA HIROTO;OGI KATSUMI |
| 分类号 |
H01B3/00;C07F7/00;C07F7/28;C23C16/18;C23C16/40;H01B3/12;(IPC1-7):C07F7/28 |
主分类号 |
H01B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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