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发明名称 MEASURING METHOD FOR HIGH FREQUENCY SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11287839(A) 申请公布日期 1999.10.19
申请号 JP19980108669 申请日期 1998.04.03
申请人 NEC CORP 发明人 KIMURA SHINGO
分类号 G01R31/26;G01R31/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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