| 发明名称 |
INSPECTING DEVICE OF SUBSTRATE WITH BUMP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11287627(A) |
申请公布日期 |
1999.10.19 |
| 申请号 |
JP19980105671 |
申请日期 |
1998.03.31 |
| 申请人 |
NGK SPARK PLUG CO LTD |
发明人 |
NAGASAKI MASATO;TSUNEKAWA TOMOYOSHI |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B11/02;(IPC1-7):G01B11/24 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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