| 发明名称 |
Semiconductor substrate and process for producing the same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG68033(A1) |
申请公布日期 |
1999.10.19 |
| 申请号 |
SG19980000614 |
申请日期 |
1998.03.25 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
OHMI KAZUAKI;YONEHARA TAKAO;SAKAGUCHI KIYOFUMI |
| 分类号 |
H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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