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发明名称
VARIABLE AREA ELECTRON BEAM DRAWING METHOD
摘要
申请公布号
JPH11288873(A)
申请公布日期
1999.10.19
申请号
JP19980093194
申请日期
1998.04.06
申请人
JEOL LTD
发明人
NAKAGAWA YASUTOSHI
分类号
G03F7/20;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
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