发明名称
摘要
申请公布号 JPH11512236(A) 申请公布日期 1999.10.19
申请号 JP19980510314 申请日期 1997.07.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/265;H01L21/04;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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