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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11288893(A) 申请公布日期 1999.10.19
申请号 JP19980108628 申请日期 1998.04.03
申请人 NEC CORP 发明人 MORIYAMA TSUTOMU
分类号 H01L21/22;C30B31/16;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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