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发明名称
摘要
申请公布号 JPH11512232(A) 申请公布日期 1999.10.19
申请号 JP19970510427 申请日期 1996.08.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C16/458;H01L21/26;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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