发明名称 FERROMAGNETIC AND FERROELECTRIC THIN FILM AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH11286774(A) 申请公布日期 1999.10.19
申请号 JP19980090422 申请日期 1998.04.02
申请人 JAPAN SCIENCE & TECHNOLOGY CORP 发明人 KAWAI TOMOJI;TABATA HITOSHI
分类号 C23C14/08;C23C14/28;(IPC1-7):C23C14/08 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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