| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11289018(A) |
申请公布日期 |
1999.10.19 |
| 申请号 |
JP19980357287 |
申请日期 |
1998.12.16 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD |
发明人 |
CHONG KYU-CHUL;SHIN HEON-JONG |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/823 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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