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发明名称 TESTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11288986(A) 申请公布日期 1999.10.19
申请号 JP19980355215 申请日期 1998.12.14
申请人 DIGI PRECISION IND LTD 发明人 ROBERT SYKES
分类号 G01R31/02;G01N3/02;G01N3/04;G01N33/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
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