发明名称 GUIDE RAIL MECHANISM FOR BONDING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11288953(A) 申请公布日期 1999.10.19
申请号 JP19980103981 申请日期 1998.03.31
申请人 SHINKAWA LTD 发明人 TORIHATA MINORU;MAKI SHINJI
分类号 H01L21/50;B23K37/02;(IPC1-7):H01L21/50 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
主权项
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