| 发明名称 |
HIGH-DENSITY INTERCONNECTION STRUCTURE BODY WITH CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11289046(A) |
申请公布日期 |
1999.10.19 |
| 申请号 |
JP19910800021 |
申请日期 |
1991.07.10 |
| 申请人 |
GENERAL ELECTRIC CO <GE> |
发明人 |
ROBERT JOHN WOJUNAROUSKI;CHARLES WILLIAM EICHELBERGER;WILLIAM PAUL CORNLUNF |
| 分类号 |
H01L23/52;H01L21/3205;H01L23/12;H01L25/04;H01L25/18;(IPC1-7):H01L25/04;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L23/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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