SPUTTERING DEVICE AND FORMATION OF THIN FILM USING THE SAME,申请号JP19980088689-传众专利搜索

发明名称	SPUTTERING DEVICE AND FORMATION OF THIN FILM USING THE SAME
摘要
申请公布号	JPH11286777(A)	申请公布日期	1999.10.19
申请号	JP19980088689	申请日期	1998.04.01
申请人	CANON INC	发明人	SONE KAZUHO
分类号	C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/34	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
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