发明名称 CAPACITOR IN SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR100225556(B1) 申请公布日期 1999.10.15
申请号 KR19920011966 申请日期 1992.07.06
申请人 SONY CORPORATION 发明人 MUROYAMA, MASAKAZU
分类号 H01L21/314;H01L21/02;H01L21/318;H01L21/334;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/10 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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