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1.一种以源自X-射线光源之高能量平行照射光依图 像照射 聚合物以制造具高纵横比为10:1至1000:1之微模制品 之方 法,其中所用之聚合物为均-或共聚氧化甲烯,该聚 氧化 甲烯之(数目平均)分子量Mn为2,000至100,000,且为甲 醛 之均聚物或甲醛与具环状或直链缩甲醛之三 烷或 环氧化 物之共聚物,此均聚物或共聚物带有热稳定之端基 ,该均 -或共聚氧化甲烯系藉射出成型,挤压及/或压合,施 加 于基材上成为厚达2000m之层厚度,该平行照射光 系波 长为0.1至10微米之同步加速照射光。2.一种制造微 结构之方法,此方法包括使用同步加速照射 光依图影照射均-或共聚氧化甲烯,于显影温度为50 至 150℃之间,以选择性显影剂处理经照射之聚合物, 藉此 将该聚合物构建成深度为50m至2000m,而横向尺 寸为 低于10m,其中所用之选择性显影剂为酚或水性盐 酸或 |
