发明名称 HOT PLATE UNIT
摘要
申请公布号 JPH11283729(A) 申请公布日期 1999.10.15
申请号 JP19980080987 申请日期 1998.03.27
申请人 IBIDEN CO LTD 发明人 FURUKAWA MASAKAZU
分类号 H01L21/027;H05B3/14;H05B3/20;(IPC1-7):H05B3/20 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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