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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR CHEMICAL SUPPLY SYSTEM
摘要
申请公布号
KR100223968(B1)
申请公布日期
1999.10.15
申请号
KR19960059058
申请日期
1996.11.28
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD.
发明人
CHOI, SEON-JIP;LEE, WON-DONG
分类号
H01L21/02;H01L21/48;(IPC1-7):H01L21/48
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
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地址
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