发明名称 APPARATUS FOR TESTING INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 KR100223077(B1) 申请公布日期 1999.10.15
申请号 KR19950038194 申请日期 1995.10.30
申请人 NIPPON ELECTRIC K.K. 发明人 NAKKAIZUMI, KAZUO
分类号 G01R31/28;G01R31/3185;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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