发明名称 |
FULLY AUTOMATIC POLE POINT FIGURE MEASURING APPARATUS |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11281595(A) |
申请公布日期 |
1999.10.15 |
申请号 |
JP19980083461 |
申请日期 |
1998.03.30 |
申请人 |
JEOL LTD;NIPPON DENSHI ENGINEERING KK |
发明人 |
AMAMIYA MASAMI |
分类号 |
G01L1/00;G01N23/207;(IPC1-7):G01N23/207 |
主分类号 |
G01L1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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