| 发明名称 |
DEVICE FOR CHECKING CHEMICAL PROCESSED SURFACE STATE AND METHOD FOR CHECKING CHEMICAL PROCESSING LIQUID DETERIORATING STATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11281338(A) |
申请公布日期 |
1999.10.15 |
| 申请号 |
JP19980081962 |
申请日期 |
1998.03.27 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
MIHASHI HIDEO;OKAWA KATSUHISA |
| 分类号 |
G01B11/30;G01N21/88;G01N21/952;(IPC1-7):G01B11/30 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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