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发明名称 MANUFACTURING METHOD FOR CAPACITOR IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100224707(B1) 申请公布日期 1999.10.15
申请号 KR19960036138 申请日期 1996.08.28
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 KANG, MAN-SUG;SHIN, HYUN-BO;AHN, SEUNG-JOON;AHN, BYUNG-CHUL
分类号 H01L27/04;H01L21/205;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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