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发明名称 DRY ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100224661(B1) 申请公布日期 1999.10.15
申请号 KR19960025222 申请日期 1996.06.28
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 KANG, CHANG-JIN
分类号 H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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