发明名称 VIOLET EXPOSING APPARATUS AND TREATING SYSTEM OF SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR100226326(B1) 申请公布日期 1999.10.15
申请号 KR19960022082 申请日期 1996.06.18
申请人 DAINIPPON SCREEN SEIJO K.K. 发明人 GIZAKI, GOHJI;MIYAGI, MASAHIRO;NARITA, GATSUNAGA
分类号 G03F7/16;G03F7/20;G03F7/42;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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