发明名称 ION IMPLANTATION SIMULATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH11283932(A) 申请公布日期 1999.10.15
申请号 JP19980083665 申请日期 1998.03.30
申请人 NEC CORP 发明人 SAKAMOTO HIRONORI
分类号 H01L21/265;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
地址