| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11283992(A) |
申请公布日期 |
1999.10.15 |
| 申请号 |
JP19980084105 |
申请日期 |
1998.03.30 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
YAMAZAKI SHINYA;AOKI HIDEMITSU;SASAKI YASUSHI |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3063;H01L21/308;H01L21/331;H01L29/70;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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