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发明名称 ISOLATION METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100224700(B1) 申请公布日期 1999.10.15
申请号 KR19970016809 申请日期 1997.04.30
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 KIM, CHANG-GYU;BAEK, MIN-SU;HONG, SEOK-JI
分类号 H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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