发明名称 |
VACUUM CARRIER APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR PACKAGE FABRICATION UNIT |
摘要 |
|
申请公布号 |
KR100224490(B1) |
申请公布日期 |
1999.10.15 |
申请号 |
KR19960044779 |
申请日期 |
1996.10.09 |
申请人 |
ANAM SEMICONDUCTOR., LTD.;ANAM INSTRUMENTS INC. |
发明人 |
PARK, JONG MUN |
分类号 |
H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/68 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|