| 发明名称 |
CLEANING METHOD AND CLEANING APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR100224462(B1) |
申请公布日期 |
1999.10.15 |
| 申请号 |
KR19960001149 |
申请日期 |
1996.01.19 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
YONEMIZU, AKIRA;AKIMOTO, MASAMI |
| 分类号 |
B08B1/04;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B1/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
