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发明名称 SUBSTRATE TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11283895(A) 申请公布日期 1999.10.15
申请号 JP19980081359 申请日期 1998.03.27
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 KAGO YOSHIICHI;TAKAHASHI KAZUHIRO
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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