| 发明名称 |
METHOD OF FORMING THIN AND UNIFORM THICKNESS OXIDE FILM AT LOW TEMPERATURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11283975(A) |
申请公布日期 |
1999.10.15 |
| 申请号 |
JP19980301395 |
申请日期 |
1998.10.22 |
| 申请人 |
TEXAS INSTR INC <TI> |
发明人 |
WILK GLEN D;WALLACE ROBERT M;BRAR BERINDER P S |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/28;H01L21/316;H01L29/51;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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