发明名称 ELECTRON BEAM IRRADIATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11283544(A) 申请公布日期 1999.10.15
申请号 JP19980086887 申请日期 1998.03.31
申请人 ADVANTEST CORP 发明人 TANAKA HITOSHI
分类号 H01J37/14;G01Q60/50;G03F7/20;H01J37/141;H01J37/28;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/14 主分类号 H01J37/14
代理机构 代理人
主权项
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