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经营范围
发明名称
ELECTRON BEAM IRRADIATING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11283544(A)
申请公布日期
1999.10.15
申请号
JP19980086887
申请日期
1998.03.31
申请人
ADVANTEST CORP
发明人
TANAKA HITOSHI
分类号
H01J37/14;G01Q60/50;G03F7/20;H01J37/141;H01J37/28;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/14
主分类号
H01J37/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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