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发明名称 S.O.I. SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 KR100223505(B1) 申请公布日期 1999.10.15
申请号 KR19950015853 申请日期 1995.06.15
申请人 NEC CORPORATION 发明人 KOBAYASHI, KENYA;HAMAJIMA, TOMOHIRO;OKONOGI, KENSUKE
分类号 H01L21/20;H01L21/762;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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