发明名称 PROCESS FOR FORMING FIELD OXIDE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100224780(B1) 申请公布日期 1999.10.15
申请号 KR19960080220 申请日期 1996.12.31
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 CHANG, SEI-UHK
分类号 H01L21/316;H01L21/306;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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