发明名称 MICROMIRROR DEVICE AND ITS FABRICATION METHOD
摘要
申请公布号 KR100223191(B1) 申请公布日期 1999.10.15
申请号 KR19970011542 申请日期 1997.03.31
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 AN, SE-JIN
分类号 G02F1/015;(IPC1-7):G02F1/015 主分类号 G02F1/015
代理机构 代理人
主权项
地址