发明名称 STEPPER POSITION CONTROL UNIT OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR200159487(Y1) 申请公布日期 1999.10.15
申请号 KR19960058473U 申请日期 1996.12.27
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 JUNG, HAE-YOUNG
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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