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发明名称
STEPPER POSITION CONTROL UNIT OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR200159487(Y1)
申请公布日期
1999.10.15
申请号
KR19960058473U
申请日期
1996.12.27
申请人
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD.
发明人
JUNG, HAE-YOUNG
分类号
H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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