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发明名称
ROUNDING MANUFACTURING PROCESS OF LOWER PART OF TRENCH
摘要
申请公布号
KR100223586(B1)
申请公布日期
1999.10.15
申请号
KR19960017408
申请日期
1996.05.22
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD.
发明人
LEE, DO-HAN;BAE, YOUNG-TAE;KIM, HO-KI
分类号
H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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