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发明名称 SEMICONDUCTOR ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 KR100226818(B1) 申请公布日期 1999.10.15
申请号 KR19960075487 申请日期 1996.12.28
申请人 LG ELECTRONICS INC. 发明人 HWANG, JONG-SUNG
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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