| 发明名称 |
METHOD FOR PREPARING SHIELD TO REDUCE PARTICLES IN PHYSICAL VAPOR DEPOSITION CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100226809(B1) |
申请公布日期 |
1999.10.15 |
| 申请号 |
KR19910003247 |
申请日期 |
1991.02.28 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC. |
发明人 |
HUMOYOUN, TAOIEH;HAIM, GILBOA;DONALD M. MINTZ |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/02;C23C14/56;C23F4/00;C30B25/06;C30B25/08;H01L21/203;H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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