发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR AUTOMATED DOCKING OF A TEST HEAD TO A DEVICE HANDLER |
摘要 |
|
申请公布号 |
KR100225805(B1) |
申请公布日期 |
1999.10.15 |
申请号 |
KR19950048279 |
申请日期 |
1995.12.11 |
申请人 |
INTEST CORPORATION |
发明人 |
DANIEL J. GRAHAM;ALYN R. HOLT;ROBERT E. MATTIHIESSEN;I.MARVIN. WEILERSTEIN;CHRISTOPHER L.WEST |
分类号 |
G01R31/26;B25J9/16;G01R1/04;G01R1/067;G01R31/28;H01L21/66;H01L21/68;(IPC1-7):G01R31/28 |
主分类号 |
G01R31/26 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|